手持式X熒光光譜儀在高分辨率的過程中需要在測定精密度等方面進行改變
手持式X熒光光譜儀光譜跟樣品的化學結合狀態無關，而且跟固體、粉末、液體及晶質、非晶質等物質的狀態也基本上沒有關系。氣體密封在容器內也可分析)但是在高分辨率的精密測定中卻可看到有波長變化等現象。
手持式X熒光光譜儀分析是一種物理分析方法，所以對在化學性質上屬同一族的元素也能進行分析。測定用時與測定精密度有關，但一般都很短，2～5分鐘就可以測完樣品中的全部待測元素。在測定中不會引起化學狀態的改變，也不會出現試樣飛散現象。同一試樣可反復多次測量，結果重現性好。
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